用光学方式耦合固态光发射器及半导体感测器的想法是在1963由Akmenkalns等人提出(US patent3,417,249)。光敏电阻为基础的光电耦合元件在1968年问世,其速度慢,是Zui线性隔离元件,在音乐及音响产业中仍有其利基市场。LED技术在1968–1970年的商品化,使得光电工程大幅成长,在1970年代末各种主要的光电耦合元件均已开发出来。光电耦合元件的主力是双极性的硅光晶体感测器,可以达到足够的的传输速度,足以用在像脑电图之类的应用上,Zui快的光电耦合元件是利用光导模式的PIN型二极管。
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